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Costruzione ad alta rigidità con movimento a motore lineare e telecamere ad alta risoluzione. Combina la pressione di posizionamento ottimale, l'elevata precisione e l'alta qualità utilizzando una tecnologia di controllo avanzata.
Partendo dal presupposto che questa macchina verrà utilizzata in camere bianche, il robot XY è in grado di funzionare in camera bianca.
Impostando un filtro HEPA, è possibile ottenere un ambiente ancora migliore per i semiconduttori.
Dotato di un ampio pannello touchscreen da 15 pollici e interfaccia grafica. L'interfaccia unificata controlla sia il funzionamento della macchina che quello dell'MWU12i.
Copre sia la gestione dei dati della mappa wafer che la conversione del formato.
※I singoli formati utente possono essere supportati separatamente.
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