Costruzione ad alta rigidità con movimento lineare del motore e telecamere ad alta risoluzione. Combina la pressione di posizionamento ottimale, l'elevata precisione e l'alta qualità utilizzando la tecnologia di controllo avanzata.
Con il presupposto che questa macchina verrà utilizzata nelle camere bianche, il robot XY è in grado di funzionare per camere bianche.
Impostando un filtro HEPA, è possibile ottenere un ambiente ancora migliore per i semiconduttori.
Dotato di un ampio pannello touchscreen da 15 pollici e interfaccia grafica. L'interfaccia unificata controlla sia il funzionamento della macchina che quello di MWU12i.
Copre sia la gestione dei dati della mappa dei wafer che la conversione del formato.
※ I singoli formati utente possono essere supportati separatamente.
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